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| 型号 | SRI | ||
| 设备使用环境 | 环境温度-10~40摄氏度 | ||
| SF6压缩机 | 类别 | 无油封闭式 | |
| 理论排气量(m3/h) | 20 | ||
| 最高压力(bar) | 38 | ||
| 功率(kW) | 15 | ||
| 真空泵 | 抽速(m3/h) | 10 | |
| 吸气终压力(绝对压力kPa) | 0.1 | ||
| 功率(kW) | 0.4 | ||
| 真空泵 | 抽气速率(L/s) | 25 | |
| 极限真空(Pa) | ≤6×10-2 | ||
| 功率(kW) | 3.7 | ||
| 真空计 | Pirani数显真空计 | ||
| 装置回收终压(kPa) | ≤60 | ||
| 装置极限真空(Pa) | ≤10 | ||
| 真空保持从133Pa经24小时上升值(Pa) | ≤400 | ||
| 装置年泄漏率 | ≤1% | ||
| 回收后SF6气体纯度 | 水分(ppm/V) | ≤60 | |
| 贮存容器 | 贮存方式 | 液态 | |
| 压力(Bar) | 39 | ||
| 容积(L) | 350 | ||
| 贮液量(kg) | 350 | ||
| 液化方式 | 高压 | ||
| 干燥过滤器再生方式 | 真空加热活化再生 | ||
| 电源 | 三相380V/50Hz | ||
| 总功率(kW) | ≤20 | ||
| 总功率(kW) | ≤75 | ||
| 尺寸(mm) | 1920×1080×1600 | ||
| 重量(kg) | ＜900 | ||
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